锗烷（GeH4）和乙锗烷（Ge2H6）均为电子工业用的关键气体材料，对整个行业的可持续发展起着重要的支撑配套作用。锗烷主要用于半导体制程中在硅片上沉积SiGe（硅锗）层。硅锗材料的载流子迁移率高、能带宽度随Ge的组分变化而连续可调，因此,硅锗材料在微电子和光电子方面有重大的应用价值。5G时代，光通信芯片崛起，光通信传输芯片主流采用SiGe工艺来满足其对高性能和低功耗的要求。国家发改委《增强制造业核心竞争力三年行动计划(2018-2020年)》曾对锗烷纯度和装置规模就提出过具体要求。锗烷也用于红外光学材料、航天器空间高效电池等；作为太阳能薄膜电池的源材料，与硅烷一起制备各种不同的非结晶锗硅电池。